物理分離法中的機(jī)械剝離技術(shù)，是通過(guò)破碎、篩分和浮選等方法，將ITO涂層與玻璃基板進(jìn)行分離。隨后，再結(jié)合化學(xué)處理對(duì)分離出的ITO涂層進(jìn)行銦的提取。這種方法主要適用于LCD面板的回收，但需注意，其純度可能相對(duì)較低。

ITO靶粉回收過(guò)程通常包括以下幾個(gè)環(huán)節(jié)：

1.收集與分類。首先需要將生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢靶材、切削碎屑、鍍膜殘?jiān)冗M(jìn)行分類收集。不同類型的廢料可能需要采用不同的處理方式，因此分類是確保后續(xù)處理效率的基礎(chǔ)。

2.預(yù)處理。廢料中可能含有油脂、灰塵或其他雜質(zhì)，需通過(guò)清洗、烘干等方式進(jìn)行初步處理。對(duì)于塊狀廢料，可能需要通過(guò)機(jī)械破碎、研磨等方式將其轉(zhuǎn)化為粉末狀，以便于后續(xù)化學(xué)處理。

3.溶解與浸出。將預(yù)處理后的靶粉與酸性溶液（如鹽酸或硫酸）反應(yīng)，使金屬成分溶解到溶液中。這一步驟需要控制溫度、濃度和反應(yīng)時(shí)間，以提高金屬的浸出率。

4.分離與純化。通過(guò)化學(xué)沉淀、溶劑萃取或離子交換等方法，將溶液中的銦與其他金屬（如錫、鐵等）分離開來(lái)。隨后，通過(guò)進(jìn)一步提純，獲得高純度的銦化合物。

5.還原與加工。將純化后的銦化合物通過(guò)電解或化學(xué)還原法轉(zhuǎn)化為金屬銦，并可進(jìn)一步加工成符合生產(chǎn)要求的ITO靶材。

ITO靶粉回收雖具有較高價(jià)值，但實(shí)際操作中需注意以下幾點(diǎn)：

1.防護(hù)。回收過(guò)程涉及強(qiáng)酸、有機(jī)溶劑等化學(xué)品，操作人員需穿戴防護(hù)裝備，避免直接接觸。工作場(chǎng)所應(yīng)保持良好的通風(fēng)條件，防止有害氣體積聚。

2.環(huán)境保護(hù)?；厥者^(guò)程中產(chǎn)生的廢水、廢渣需妥善處理，避免對(duì)環(huán)境造成污染。酸性廢液應(yīng)中和后再排放，有機(jī)溶劑應(yīng)盡量回收利用或進(jìn)行無(wú)害化處理。

3.質(zhì)量控制?；厥盏玫降慕饘巽熜杞?jīng)過(guò)嚴(yán)格檢測(cè)，確保其純度符合再次生產(chǎn)的要求。雜質(zhì)含量過(guò)高會(huì)影響終產(chǎn)品的性能。

4.經(jīng)濟(jì)性分析?；厥枕?xiàng)目需綜合考慮成本與收益，包括原材料收集、化學(xué)品消耗、能源使用及設(shè)備折舊等因素。企業(yè)可根據(jù)自身情況選擇合適的回收規(guī)模和技術(shù)路線。

隨著電子行業(yè)的發(fā)展，ITO靶材的需求量逐年增長(zhǎng)，推動(dòng)了對(duì)廢靶材回收的重視。目前，一些大型電子制造企業(yè)已開始建立自身的回收體系，或與專業(yè)回收公司合作，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)廢料的循環(huán)利用。技術(shù)進(jìn)步也使得回收效率和金屬回收率不斷提高，進(jìn)一步降低了生產(chǎn)成本。