制造ITO靶材是一項(xiàng)技術(shù)密集型的工作,涉及從原料配比到成型加工的多個(gè)環(huán)節(jié)。高質(zhì)量的ITO靶材需要具備高密度、均勻性和穩(wěn)定性,而這些要求背后隱藏著復(fù)雜的工藝和諸多挑戰(zhàn)。
盡管制備方法看似成熟,但實(shí)際操作中仍有不少難題需要攻克:
成分配比的性:氧化錫的摻雜量通??刂圃?-10%之間,過(guò)高會(huì)導(dǎo)致透明度下降,過(guò)低則影響導(dǎo)電性。如何在微觀尺度上實(shí)現(xiàn)均勻混合,是一個(gè)技術(shù)挑戰(zhàn)。
靶材密度:低密度靶材在濺射時(shí)容易產(chǎn)生顆粒飛濺,導(dǎo)致薄膜出現(xiàn)缺陷。提高密度需要優(yōu)化壓制和燒結(jié)條件,但這往往伴隨著成本的上升。
微觀結(jié)構(gòu)的控制:靶材內(nèi)部的晶粒大小和分布會(huì)影響濺射的穩(wěn)定性。晶粒過(guò)大可能導(dǎo)致濺射不均,而過(guò)小則可能降低靶材的機(jī)械強(qiáng)度。
熱應(yīng)力管理:在高溫?zé)Y(jié)過(guò)程中,靶材可能因熱膨脹不均而產(chǎn)生裂紋,影響成品率。
這些難點(diǎn)要求制造商在設(shè)備、工藝和質(zhì)量控制上投入大量精力。
閉環(huán)之困:損耗與機(jī)遇并存
ITO靶材在濺射鍍膜過(guò)程中利用率通常僅30%左右,大量含銦廢料(廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料)隨之產(chǎn)生。過(guò)去,這些價(jià)值的廢料往往被簡(jiǎn)單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系,成為破解資源約束的黃金路徑。
在堆積如山的廢棄手機(jī)、平板電腦和液晶顯示器深處,隱藏著一種被稱為“電子時(shí)代血脈”的稀有金屬——銦。它雖在自然界中蹤跡難尋,卻在ITO靶材(氧化銦錫)中扮演著不可替代的角色,驅(qū)動(dòng)著全球億萬(wàn)塊液晶屏幕的清晰成像。隨著電子產(chǎn)品更新?lián)Q代加速,一條從“電子垃圾”到“戰(zhàn)略資源”的銦回收產(chǎn)業(yè)鏈正悄然崛起,成為保障產(chǎn)業(yè)與生態(tài)可持續(xù)的關(guān)鍵密碼。

