ITO靶材,全稱氧化銦錫靶材,是一種專門用于磁控濺射鍍膜的材料。氧化銦錫(簡稱ITO)是一種n型半導體材料,通常由90%的氧化銦(In?O?)和10%的氧化錫(SnO?)組成。這種材料以其的透明度和導電性,成為現(xiàn)代電子工業(yè)中不可或缺的組成部分。無論是智能手機的觸摸屏、平板電腦的顯示面板,還是太陽能電池的透明電極,ITO靶材都以其獨特的功能支撐著這些設(shè)備的運行。
ITO靶材的核心用途是在磁控濺射工藝中作為“濺射源”。磁控濺射是一種常見的薄膜沉積技術(shù),通過高能離子轟擊靶材表面,使靶材原子被“敲擊”出來,終沉積在基板上,形成一層均勻的ITO薄膜。這層薄膜厚度通常在幾十到幾百納米之間,卻能同時實現(xiàn)導電和透光的功能。
銦靶材主要由金屬銦制成,具有質(zhì)軟、延展性好和導電性強的特點。作為稀有金屬,銦在自然界的含量稀少,但其獨特的物理和化學性質(zhì)使其成為眾多高科技產(chǎn)品的核心組件。銦靶材廣泛應(yīng)用于航空航天、電子工業(yè)等領(lǐng)域,是制造高性能電子元器件的關(guān)鍵材料。
區(qū)別對比
?成分差異:銦靶材為純金屬銦制成,而ITO靶材則是銦錫氧化物的復(fù)合物。
?用途不同:銦靶材主要用于需要高導電性和延展性的領(lǐng)域,如航空航天部件;ITO靶材則因其透明導電性廣泛應(yīng)用于光電顯示領(lǐng)域。
?性能特點:銦靶材更側(cè)重于導電性和機械強度,而ITO靶材則兼顧導電性和光學透明性。

