從物理性質上看,ITO靶材具有以下幾個顯著特點:
高透明度:在可見光范圍內(波長400-700納米),ITO薄膜的透光率可高達90%以上,幾乎與普通玻璃相當。
優(yōu)異導電性:其電阻率通常在10??歐姆·厘米的量級,遠低于大多數(shù)透明材料。
化學穩(wěn)定性:在常溫下,ITO對水、氧氣等環(huán)境因素表現(xiàn)出良好的抗腐蝕能力。
機械耐久性:ITO薄膜具備一定的硬度和耐磨性,能夠應對日常使用中的輕微刮擦。
這些特性讓ITO靶材在實際應用中游刃有余,尤其是在需要兼顧光學和電學性能的場景中。
制造ITO靶材是一項技術密集型的工作,涉及從原料配比到成型加工的多個環(huán)節(jié)。高質量的ITO靶材需要具備高密度、均勻性和穩(wěn)定性,而這些要求背后隱藏著復雜的工藝和諸多挑戰(zhàn)。
銦靶材主要由金屬銦制成,具有質軟、延展性好和導電性強的特點。作為稀有金屬,銦在自然界的含量稀少,但其獨特的物理和化學性質使其成為眾多高科技產品的核心組件。銦靶材廣泛應用于航空航天、電子工業(yè)等領域,是制造高性能電子元器件的關鍵材料。
ITO靶材,即銦錫氧化物靶材,主要由氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)組成,其中氧化銦占比高達90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導電性和高透光性,成為液晶顯示器(LCD)、觸摸屏及太陽能電池等光電設備的理想材料。其晶體結構穩(wěn)定,電導率高,確保了設備的運行。

