超純水水質(zhì)指標(biāo)常用的是電阻率，總有機碳，顆粒，熱源

超純水水質(zhì)指標(biāo)分為一級超純水水質(zhì)指標(biāo)和二級超純水水質(zhì)指標(biāo) 分別為電阻率（25℃）MΩ。cm≥15 ≥10 2。電導(dǎo)率μS/cm0.05 0.1 3. ph值6.8-7.2 6.6-7.4 4. 總數(shù)個/mL ＜3 ＜9 5.微粒（直徑＞0.5μm,粒/mL)＜150 ＜300 6. 二氧化硅＜10 ＜20 7.有機物（以COD計）＜0.3 ＜0.5 8.鈉 N＜0.5 ＜2