載板電鍍是一種高精度、性、高復雜度的電鍍加工工藝,可以廣泛應用于電子、通訊、光電、汽車等行業(yè)。掌握載板電鍍的基本原理、工藝流程、適用范圍和注意事項,可以有效提高金屬結構的質量和生產(chǎn)效率。
載板電鍍是先進封裝載板(如 IC 載板、扇出型封裝載板等)制造中的核心工藝,其質量直接決定載板的電氣性能、可靠性及封裝良率。由于載板需實現(xiàn)高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)及承載芯片的高可靠性要求,其電鍍工藝及質量檢測標準遠高于傳統(tǒng) PCB,核心圍繞 “鍍層均勻性、致密度、附著力、純度” 四大維度展開
鍍層幾何參數(shù):控制是基礎
載板的超細線路 / 凸點對幾何尺寸要求,偏差會直接導致封裝失效(如鍵合不良、短路)。
檢測項目 核心標準要求 檢測工具
鍍層厚度 - 圖形銅:厚度偏差≤±10%(如設計 10μm,實際需在 9-11μm);
- 鎳層:2-5μm,偏差≤±0.5μm;
- 金層:0.05-0.15μm(ENEPIG),偏差≤±20% X 射線熒光測厚儀(XRF)、金相顯微鏡
凸點尺寸(Bump) - 直徑偏差≤±5%(如設計 50μm,實際 47.5-52.5μm);
- 高度偏差≤±8%;
- 同一載板凸點高度差≤5μm 激光共聚焦顯微鏡、3D 輪廓儀
線路 / 焊盤精度 - 線寬偏差≤±10%(如設計 15μm,實際 13.5-16.5μm);
- 焊盤直徑偏差≤±5%;
- 線路邊緣粗糙度(Ra)≤1μm
載板電鍍的質量檢測需圍繞 “高精度、高可靠性、高純度” 展開,通過多維度檢測(幾何、附著、微觀、電氣、環(huán)境)確保滿足先進封裝的嚴苛需求,同時需結合行業(yè)標準與下游定制要求動態(tài)調整檢測方案。
