ITO靶材的回收流程通常包括以下幾個步驟：

1. 收集與分類：將廢舊ITO靶材進行收集，并根據(jù)其種類、純度等進行分類。

2. 破碎與研磨：將分類后的靶材進行破碎和研磨，使其變成粉末狀，便于后續(xù)處理。

3. 化學分離：采用化學方法將粉末中的銦、錫等元素進行有效分離。

4. 提純與精煉：對分離出的銦、錫等元素進行提純和精煉，得到高純度的金屬產(chǎn)品。

5. 再加工：將提純后的金屬產(chǎn)品加工成新的靶材或其他產(chǎn)品，實現(xiàn)資源的循環(huán)利用。

除了ITO靶材外，銦還廣泛應用于其他領(lǐng)域，如半導體材料、太陽能電池、LED等。因此，回收銦不于ITO靶材的回收，還包括其他含銦廢料的回收。

ITO靶材的回收再利用具有重要的意義和價值。通過科學的回收技術(shù)和流程，不僅可以實現(xiàn)資源的循環(huán)利用，還能減少環(huán)境污染，推動可持續(xù)發(fā)展。同時，回收銦也需要關(guān)注性、環(huán)保性和合規(guī)性等方面的問題。

在實際生產(chǎn)中，采用蒸餾法分離銦、錫時，可考慮采用微負壓系統(tǒng)進行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的升級改進。通過改善工藝條件和調(diào)整技術(shù)參數(shù)等，以充分的降低能耗，并獲得更好的銦、錫分離效果，這也是今后產(chǎn)業(yè)化試驗研究的主要方向。