FT1000SA系列MEMS三軸電容加速度傳感器

一、傳感器特點：

FT1000SA三軸MEMS三軸電容加速度傳感器由本公司自行研制，用于測量單軸加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，具有BIMOS信號限制電路。設(shè)計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅固性。

本產(chǎn)品可用于汽車測控、慣性導(dǎo)航、飛行器系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統(tǒng)中。

二、產(chǎn)品性能

靈敏度（20±5℃） X Y Z:～40-20mv/g

測量范圍（峰值）50~100 g

橫向靈敏度 ≤1 ％

頻率響應(yīng) （±5%）DC ～12000 Hz

安裝諧振頻率 25,000 Hz

頻譜噪聲 25 μg/√Hz

工作溫度范圍 -40～+120 ℃

極性 正向

溫度靈敏度穩(wěn)定性 5%

磁靈敏度 2 g/T

線性度為滿度范圍 ±0.1%

安裝 M5螺釘/安裝座/磁座

敏感材料 MEAS芯片

殼體材料 鈦合金

重量 13g

輸出方式 九芯插頭/5線制

供電電壓 DC7-12V

配套件

傳感器合格證 標(biāo)定參數(shù)、頻響曲線

M5螺栓/安裝座 一套

9芯/（2 米） 1根

FT1000SA系列MEMS電容三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質(zhì)塊相連的中央板形成的差動電容器機(jī)構(gòu)來測量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號。