高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL

高低溫探針臺系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測試而無凝露或結(jié)霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度，從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺系統(tǒng)可達(dá)10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。

為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設(shè)計(jì)了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的移動。

高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL參數(shù)

真空腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

加熱臺材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

﹣190--400℃

加熱臺溫控誤差

±1℃

真空度

機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動行程

13mm ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機(jī)

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

有

顯示屏

8寸

放大倍數(shù)

19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm