對于要求比較高的無塵車間，還需要做無塵車間地面的防靜電處理。通過使用防靜電水磨石做面層，再通過鋪設靜電接地網(wǎng)來達到防靜電效果。如果無塵車間地面采用防靜電水泥砂漿，那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來達到防靜電功能。一般來說，電子無塵車間對防靜電的要求會比較高。

在工作中，工作人員應當盡量避免或者減少接觸設備的產(chǎn)品的次數(shù)，如果可以，還是采取全自動的生產(chǎn)流程。如果一定要接觸的話，應該先洗干凈手，并且戴上手套，防止對設備和產(chǎn)品造成污染。

在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進凈化的關鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。

無塵車間工人在防火墻兩端2m范圍內(nèi)穿管、穿管、穿隔熱層。根據(jù)上述需要，在潔凈室工程中，經(jīng)常采用拍賣保溫板和復合硅酸鹽保溫板（防潮層和外保護材料以及與保溫材料相匹配的液體泥漿），而阻燃自熄聚苯乙烯保溫板不符合消防要求，限制了其應用。這里重要的是，當輸送的空氣溫度低于環(huán)境溫度時，由于隔熱結(jié)構(gòu)內(nèi)外壁之間的溫差而產(chǎn)生水蒸氣的分壓差。由于分壓差的影響，管外空氣中的水蒸氣隨熱流滲入保溫材料，導致保溫結(jié)構(gòu)內(nèi)凝結(jié)，保溫材料的保溫性能降低，必須在保溫層外設置防潮層。當氣溫高于環(huán)境溫度時，保溫結(jié)構(gòu)一般不設置防潮層。保溫材料采用閉孔結(jié)構(gòu)，防止水汽滲入。如防水層為液體泥漿，復合硅酸鹽保溫板施工后無接縫。防潮效果很好，但是價格很高。