精密超精密機械加工技術精密和超精密加工時現(xiàn)代機械加工制造技術的一個重要組成部分，是衡量一個國家高科技制造業(yè)水平高低的重要指標之一。20世紀60年代以來，隨著計算機及信息技術的發(fā)展，對制造技術提出了更高的要求，不僅要求獲得的尺寸、形位精度，而且要求獲得的表面質量。正是在這樣的市場需求下，超精密加工技術得到了迅速的發(fā)展，各種工藝、新方法不斷涌現(xiàn)。

超精密特種加工廠家加工精度以納米，甚至終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，切削加工方法已不能適應，需要借助特種加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的結合能，從而去除工件表面的部分原子間的附著、結合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些方法的特點是對表面層物質去除或添加的量可以作極細微的控制。但是要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設備和的控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。

傳統(tǒng)的機械加工方法(普通加工)與精密和超精密加工方法一樣。隨著新技術、新工藝、新設備以及新的測試技術和儀器的采用，其加工精度都在不斷地提高。加工精度的不斷提高，反映了加工工件時材料的分割水平不斷由宏觀進入微觀世界的發(fā)展趨勢。隨著時間的進展，原來認為是難以達到的加工精度會變得相對容易。因此，普通加工、精密加工和超精密加工只是一個相對概念?其間的界限隨著時間的推移不斷變化。精密切削與超精密加工的典型代表是金剛石切削。

從機械專業(yè)的角度來說：機械具有相當重要的基礎地位。 機械是現(xiàn)代社會進行生產和服務的五大要素(即人、資金、能量、材料和機械)之一。 在馬克思說到工業(yè)社會時候，說工業(yè)社會，尤其是大工業(yè)社會，即用機器生產機器的時代。 無論從生活中接觸的各種物理的裝置，如電燈電話電視機冰箱電梯等等都包含有機器的成分，或者包含在廣義的機械之中，而從生產中來看，各種機床，自動化裝備，飛機，輪船，神五，神六等等，都缺不了機械。 更不用說化工廠，電廠等。 所以，毫不夸張地說，機械是現(xiàn)代社會的一個基礎。如果有人要說農業(yè)也是基礎的話，也無可厚非，但是在現(xiàn)代的社會來說，機械作為整個工業(yè)和工程的基礎，可以毫不夸張地認為也是社會一根大柱子。