四氫化鍺(Germane),也稱為鍺烷,是一種化學試劑、可用于制取高純度鍺。分子式為GeH4,分子量為76.63。甲鍺烷在較高溫度下時分解為鍺和氫氣。這種對熱不穩(wěn)定性被用于半導體工業(yè)中,即有機金屬化學氣相沉積(MOVPE)。由于甲鍺烷毒性較大,某些有機鍺化合物(如異丁基鍺)可以替代甲鍺烷,應用于MOVPE中。
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