產(chǎn)品用途：
本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備，烘箱溫度可達(dá)450℃
性能特點(diǎn)：
1真空度可達(dá)10 Pa
2精體內(nèi)氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測(cè)接口
3日本優(yōu)易控觸摸屏，升降溫斜率控制
4內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作
型號(hào) ZK-固化系列
內(nèi)箱尺寸（H*W*D) 20*20*40 30*30*60
控溫范圍 RT+20℃~450℃
溫度波動(dòng) ±0.5℃
真空度 10pa
氧含量 ≤20ppm
內(nèi)箱材質(zhì) SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate
外箱材質(zhì) 鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel
保溫材料 硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton
保護(hù)裝置 聲光報(bào)警器 超溫保護(hù)器 Audible and visual alarm, Over Temp
功率 9.0 12.0
電源 AC380V±10%3中50HZ